Камеры глубокого вакуума

Высоковакуумные испытательные камеры для проведения испытаний изделий, предполагающих работу в условиях космического пространства. Применяются и в других сферах промышленности, где требуется создание вакуума до 1*10-6  мм.рт.ст. и лучше. Например, при производстве полупроводниковых приборов и электролучевой сварке.  

Испытательные камеры имитации космического пространства изготавливаются с применением материалов, имеющих низкий «коэффициент загрязнения вакуума».

Рабочий объем изготовлен из нержавеющей стали с полированной зеркальной поверхностью, обеспечивающей минимальное газовое натекание в рабочее пространство. Рабочий объем вакуумной камеры спроектирован с применением САПР, что позволило добиться минимальной металлоемкости при необходимой прочности.

Замкнутый контур (без спаек) уплотнения двери из синтетического фторированного каучука также минимизирует натекание. Геометрия камеры позволяет максимально рационально использовать внутреннее пространство.

В процессе наладочных работ все высоковакуумные камеры проходят процесс дегазации с прогревом стенок, это позволяет в дальнейшем получать более короткое время выхода на заданный режим.

Прижимы распашной двери с подвесными петлями расположены по контуру и надежно герметизируют рабочий объем. На двери камеры есть инспекционное окно для наблюдения за рабочим пространством в процессе испытаний.

По умолчанию испытательная камера глубоко вакуума оснащена двумя технологическими портами стандарта ISO-K. Дополнительные порты любого стандарта и технологического применения могут быть установлены на камере по требованиям заказчика.

В комплект поставки входит откатной пандус  с минимальным углом наклона для загрузки/выгрузки объекта испытаний.

Современная система вакуумной откачки с использованием только безмасляных средств. Одноступенчатый форвакуумный насос со спиральным ротором оснащен обратным клапаном для предотвращения обратного потока при остановке.

Для обеспечения режима высокого вакуума используется гибридный турбомолекулярный насос с технологией 5-ти осевого магнитного подвеса. Турбомолекулярные насосы наименее требовательны в обслуживании, обеспечивая «сухую» откачку. За счет шиберного затвора, установленного на входе в магистраль откачки, не надо ждать полной остановки турбомолекулярного насоса при завершении испытаний и открывать дверь. Также он позволяет сократить время выхода на режим, обеспечивая «сохранение вакуума» в системе откачки. В комплект входит компактный широкодиапазонный вакуумметр со встроенным сенсорным цифровым дисплеем.

Для измерения вакуума прибор использует два датчика: 

• в диапазоне от атмосферного давления до 10-2 Торр работает кристаллический кварцевый датчик, 
• от 10-2 до 10-9 Торр используется двойной инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом. 

Полностью автоматизированная система управления оснащена 7-ми дюймовой панелью оператора на поворотном кронштейне. Система построена на базе свободно программируемого контроллера. Все программное обеспечение на русском языке.

Возможно оснащение дополнительными опциями и адаптация под требования и пожелания пользователя. Стандартное ПО:

• отображение данных и управление камерой с любого компьютера или мобильного устройства, подключенного к камере по Wi-Fi или Ethernet;
• возможность скачать архивы протоколов в формате xls для обработки и распечатки данных.

Интерфейс управления отображает текущее и заданное значение давления, записывает процесс испытаний в графическом виде с функцией  масштабирования, имеет журнал событий и многие другие возможности позволяющие сделать работу пользователя наиболее комфортной.